- 专利标题： 蚀刻组合物、形成图案的方法和制造显示装置的方法
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申请号： CN201911085578.0申请日： 2019-11-08
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公开(公告)号： CN111234824B公开(公告)日： 2023-01-10
- 发明人: 朴种熙 , 金基泰 , 金真锡 , 金奎佈 , 申贤哲 , 李大雨 , 李相赫
- 申请人： 三星显示有限公司 , 株式会社东进世美肯
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市;
- 专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人： 三星显示有限公司,株式会社东进世美肯
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市;
- 代理机构： 北京铭硕知识产权代理有限公司
- 代理商 程月; 刘灿强
- 优先权： 10-2018-0138164 20181112 KR
- 主分类号： C09K13/06
- IPC分类号： C09K13/06 ; H01L21/3213
摘要：
提供一种用于蚀刻含银薄膜的蚀刻组合物、一种使用该蚀刻组合物形成图案的方法和一种使用该蚀刻组合物制造显示装置的方法。所述蚀刻组合物包括无机酸化合物、羧酸化合物、磺酸化合物、二醇化合物、含氮二羰基化合物、金属基氧化剂和水。
公开/授权文献
- CN111234824A 蚀刻组合物、形成图案的方法和制造显示装置的方法 公开/授权日：2020-06-05
