一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法
摘要:
一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法,所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构,方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成,加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔,框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽,多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧,将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔,用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件,将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构,对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位,形成一个整体,框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致,正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹,可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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