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公开(公告)号：CN117604478A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202311500829.3
申请日：2023-11-13
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： C23C14/50 , C23C16/458
摘要： 一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具，包括夹具基板和多个支撑固定组件，所述的夹具基板中心设有内腔，用以放置大口径光学薄膜元件，该内腔侧壁四周设有多个螺纹孔和凹槽，所述的支撑固定组件包含支撑垫片、缓冲垫片、限位块、第一螺栓和第二螺栓。所述的缓冲垫片具有梯形光栅结构，并布满缓冲垫片与大口径光学薄膜元件接触的一侧，仅其光栅脊顶部区域与光学薄膜元件接触。本发明制镀膜夹具能减少光学薄膜元件与镀膜夹具的接触面积并提升各支撑位受力均衡性，进而提升大口径光学薄膜元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN112968341B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202110138461.5
申请日：2021-02-01
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： H01S3/00
摘要： 一种用于宽带超短激光及其相关应用领域的能量衰减装置，该装置由半波片、单面镀膜的第一楔板偏振片、单面镀膜的第二楔板偏振片及吸收池组成，通过所述半波片对宽带超短激光的偏振方向进行调制，通过所述第一楔板偏振片对宽带超短激光S分量反射光进行检偏，通过旋转所述半波片的角度实现对宽带超短激光脉冲能量的连续衰减调整，并利用所述第二楔板偏振片实现所述第二楔板偏振片的反射光方向与所述第一楔板偏振片入射宽带超短激光平行。上述装置可以降低宽带超短激光传输过程中的能量损耗以及激光系统中光学元件发生损伤的几率，避免宽带超短激光传输过程中产生的色散效应及脉宽展宽，便于对后续光路的准直和调节。
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公开(公告)号：CN112764149A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202110021643.4
申请日：2021-01-08
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种深紫外平板偏振分光镜及其设计方法，该偏振分光镜由基板及基板两面的偏振膜和增透膜三部分构成，其中偏振膜的膜系结构包括膜层应力调节层和偏振分光膜层；初始结构为：Air/(aHbL)nM/Sub/HL/Air。本发明在非布儒斯特角度下实现深紫外波段高透过率和高消光比的同时，解决了氟化物多层薄膜张应力大导致的膜层龟裂难题，适用于ArF 0F级熔石英或紫外CaF2基板，可实现入射角为65±1°，波长为180nm‑220nm范围内的某一波长处p光透过率大于91％，消光比大于60:1，对于深紫外光学系统中的偏振控制以及系统轻量化设计有重要的意义。
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公开(公告)号：CN111722311B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN202010729510.8
申请日：2020-07-27
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 复合功能色散镜结构，其中色散镜结构由下到上依次为基底、增透结构单元、色散补偿结构单元，其中增透结构单元包括增透腔和第一高反层，色散补偿结构单元包括G‑T腔和第二高反层，基本表达式：G/[(HxL)^m(HL)^a]^p[(HyL)^n(HL)^b]^q。本发明通过增透结构单元取代标准镜的高反射膜层，G‑T腔与增透腔形成串联形式，调节G‑T腔和增透腔的周期数以及腔厚度，设计不同色散量、反射率以及带宽的高色散镜，并且作为谐振腔的输出镜，能够在实现泵浦波长高透的同时，在激光响应波段保持一定的反射率且具备色散补偿功能，结构更加简单紧凑。
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公开(公告)号：CN112697400A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011457387.5
申请日：2020-12-10
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 一种元件激光损伤阈值的测试方法，旨在提高元件的激光损伤测试效率；本发明以微透镜阵列取代传统透镜进行激光损伤测试，可运用于传统1‑on‑1激光损伤测试也可用于S‑on‑1激光损伤测试。本发明可大幅度缩短元件激光损伤测试时间，可快速获得元件的抗激光损伤阈值，本发明适用于激光元器件抗激光损伤性能测试。
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公开(公告)号：CN109141828B
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN201810798007.0
申请日：2018-07-19
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 一种连续激光辐照下液晶器件相位调控特性测量装置和测量方法，所述的测量装置包括探测激光器、第一偏振分光镜、第一半波片、聚焦透镜、样品台、第二半波片、第二偏振分光镜、功率计和计算机，该方法通过探测激光的功率变化在线实时测量连续激光作用下液晶器件相位调控特性变化。该方法简单易行，可以准确评估不同激光参数作用对液晶器件相位调控特性的影响。
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公开(公告)号：CN111575657A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010327812.2
申请日：2020-04-23
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种基于离子束辅助纳米叠层解决电子束沉积薄膜龟裂的方法，首先通过计算获得纳米叠层周期数，利用离子束辅助沉积技术在基底表面沉积高、低折射率交替的纳米叠层，该离子束辅助纳米叠层薄膜呈现压应力，且其中每层膜的厚度仅为几个纳米；然后利用电子束沉积技术沉积功能膜层，以满足薄膜特定的功能要求。本发明能够解决电子束沉积薄膜在特定使用环境发生薄膜龟裂的问题，适用于任意折射率的光学玻璃基底，提升了应力调控的范围、膜系设计和制备的灵活度、镀膜设备的适用性，并降低了对薄膜激光损伤阈值的影响。
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公开(公告)号：CN111251217A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010170308.6
申请日：2020-03-12
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法，所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构，方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成，加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔，框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽，多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧，将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔，用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件，将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构，对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位，形成一个整体，框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致，正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹，可以提升大尺寸光学元件的波面质量。
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公开(公告)号：CN111238773A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN202010064738.X
申请日：2020-01-20
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种高分辨激光输出功率变化量监测装置与方法，包括斩波器、第一光电探测器、第二光电探测器、楔形片和锁相放大器。本发明利用光电探测器分别接收两束光并转换为电压信号后输入到所述的锁相放大器，并做差分运算后测量差值信号大小，另外所述的斩波器的同步信号输入锁相放大器作为参考信号。本发明可有效实现监测激光输出功率变化量，显著提高监测分辨率。
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公开(公告)号：CN108265269B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201810140020.7
申请日：2018-02-11
申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所
摘要： 一种提升多层激光薄膜元件环境稳定性的镀膜方法，该方法的实质是在电子束蒸镀技术的基础上结合离子束辅助沉积技术。根据所设计的膜系，利用电子束蒸镀技术沉积除最外层以外的多层膜，以获取高的抗激光损伤阈值；利用离子束辅助沉积技术沉积最外层，以获取致密的水汽阻隔层，阻止水分子迅速进出多层激光薄膜元件表面。本发明能在保持电子束蒸镀技术制备的多层激光薄膜元件较高的抗激光损伤阈值的同时，提升其环境稳定性。
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