本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法，包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明的一体式多功能排气装置，能够使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。