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公开(公告)号：CN111261489A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010077422.4
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种光电倍增管用光电阴极、制备方法及光电倍增管。在光电倍增管玻璃光窗的内侧表面制备基底层，所述基底层由Al2O3的结晶性材料形成；在基底层上制备双碱光电阴极，其中基底层与双碱光电阴极两者相接触。如此，本发明在光电阴极中采用Al2O3基底层做为增透膜，有效增加光入射到光电阴极的几率，从而提高光电阴极的量子效率；同时，Al2O3基底层具有一定的导电性，可以快速的补充光电阴极由于光电效应缺失的电子，从而进一步提高量子效率。
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公开(公告)号：CN111463103B
公开(公告)日：2022-07-12
申请号：CN202010276245.2
申请日：2020-04-09
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于光电倍增管的ZrO2/Al2O3双层梯度氧化物增透膜及其制备方法与系统，其中ZrO2/Al2O3双层梯度氧化物增透膜包括在光电倍增管的玻璃基底上依次镀制的Al2O3膜层和ZrO2膜层，其中玻璃基底、Al2O3膜层和ZrO2膜层三者的膨胀系数成梯度递增。玻璃基底、Al2O3膜和ZrO2膜层中，任意相邻的两层间的膨胀系数差值小于4.0×10‑6K。如此，避免在高温烘烤除气过程中因增透膜与硼硅玻璃光窗膨胀系数差异过大造成的增透膜剥离脱落问题，减少因膜层脱落带来的量子效率降低和波动。同时，ZrO2/Al2O3双层梯度增透膜还可以对入射光进行进一步的二次增透，可进一步提高光电倍增管的量子效率。
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公开(公告)号：CN111261489B
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202010077422.4
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种光电倍增管用光电阴极、制备方法及光电倍增管。在光电倍增管玻璃光窗的内侧表面制备基底层，所述基底层由Al2O3的结晶性材料形成；在基底层上制备双碱光电阴极，其中基底层与双碱光电阴极两者相接触。如此，本发明在光电阴极中采用Al2O3基底层做为增透膜，有效增加光入射到光电阴极的几率，从而提高光电阴极的量子效率；同时，Al2O3基底层具有一定的导电性，可以快速的补充光电阴极由于光电效应缺失的电子，从而进一步提高量子效率。
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公开(公告)号：CN111261488A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010077421.X
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管，其制备过程包括：首先真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2eV。本发明提出的金属氮化物增透膜可有效提高光电倍增管的量子效率，同时通过本发明的转移式双工位的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备系统，可在一个钟罩下的两个工位的切换，实现金属薄膜的镀制和对金属薄膜的辉光离子氮化，快速实现光电倍增管光窗的金属氮化物增透膜的制备。
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公开(公告)号：CN111261475B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202010077410.1
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法，包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明的一体式多功能排气装置，能够使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。
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公开(公告)号：CN111261488B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202010077421.X
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明提供一种光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜、制备方法、制备系统及光电倍增管，其制备过程包括：首先真空环境下，在光电倍增管玻璃光窗的内表面镀制一层金属薄膜；在含氮气氛环境下，进行辉光放电离子氮化，使所镀的金属薄膜被氮化成为金属氮化物薄膜，所述金属氮化物薄膜为宽带隙金属氮化物薄膜，禁带宽度大于4.2eV。本发明提出的金属氮化物增透膜可有效提高光电倍增管的量子效率，同时通过本发明的转移式双工位的光电倍增管玻璃光窗的金属氮化物增透膜的制备系统，可在一个钟罩下的两个工位的切换，实现金属薄膜的镀制和对金属薄膜的辉光离子氮化，快速实现光电倍增管光窗的金属氮化物增透膜的制备。
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公开(公告)号：CN111463103A
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN202010276245.2
申请日：2020-04-09
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于光电倍增管的ZrO2/Al2O3双层梯度氧化物增透膜及其制备方法与系统，其中ZrO2/Al2O3双层梯度氧化物增透膜包括在光电倍增管的玻璃基底上依次镀制的Al2O3膜层和ZrO2膜层，其中玻璃基底、Al2O3膜层和ZrO2膜层三者的膨胀系数成梯度递增。玻璃基底、Al2O3膜和ZrO2膜层中，任意相邻的两层间的膨胀系数差值小于4.0×10-6K。如此，避免在高温烘烤除气过程中因增透膜与硼硅玻璃光窗膨胀系数差异过大造成的增透膜剥离脱落问题，减少因膜层脱落带来的量子效率降低和波动。同时，ZrO2/Al2O3双层梯度增透膜还可以对入射光进行进一步的二次增透，可进一步提高光电倍增管的量子效率。
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公开(公告)号：CN111261475A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010077410.1
申请日：2020-01-29
申请人： 北方夜视技术股份有限公司
摘要： 本发明涉及光电倍增管技术领域，提供一种用于制作光电倍增管的一体式多功能排气装置及使用方法，包括钟罩、底板、机架、电子清刷系统、阴极系统、辉光放电系统、镀膜系统、反射率监控用光纤、放气阀、分子泵、干泵和电控系统。本发明的一体式多功能排气装置，能够使光电倍增管从烘烤除气至最终的封接完毕均在高真空环境下在一台设备上完成，包括光学镀膜、辉光氧化、阴极制作及电子清刷均在高真空环境下进行，杜绝过程中各零部件及基底暴露大气，减少制作过程的污染，保证光电倍增管光学性能的最优。
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