本发明公开了一种制备大尺寸高致密度含稀土ITO铝靶材的方法，该方法包括如下步骤：(1)熔炼：(2)等离子雾化沉积：将熔铸得到的初锭做阳极，以惰性气体等离子体做熔化和雾化介质，进行铝靶材的雾化沉积制备；(3)超塑性成形：采用在合金的半固态温度区间对雾化沉积锭进行超塑性成形；(4)热处理：采用均匀化、固溶、时效的热处理工艺，对靶材进行热处理，制得所述铝靶材。本发明通过初锭铸造，等离子雾化沉积，并结合随后的超塑性成形与热处理工序，来达到制备成分与组织均匀，这种方法所制备的含稀土元素铝合金靶材成分均匀，组织细小，能够满足显示屏制造、通信、电子等领域对铝合金稀土靶材日益增长的高品质要求。