发明公开
- 专利标题: 镀覆装置、镀覆方法
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申请号: CN202010257887.8申请日: 2016-08-23
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公开(公告)号: CN111304715A公开(公告)日: 2020-06-19
- 发明人: 岭润子 , 中田勉 , 矢作光敏
- 申请人: 株式会社荏原制作所
- 申请人地址: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- 专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人: 株式会社荏原制作所
- 当前专利权人地址: 日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
- 代理机构: 上海华诚知识产权代理有限公司
- 代理商 肖华
- 优先权: 2015-168969 2015.08.28 JP
- 主分类号: C25D7/12
- IPC分类号: C25D7/12 ; C25D17/02 ; C25D17/06 ; C25D21/10 ; C25D21/12
摘要:
本发明提供一种使镀覆于多边形基板的膜的面内均匀性提高的镀覆装置、镀覆方法、及基板保持器,其具有:阳极保持器,该阳极保持器被构成为保持阳极;基板保持器,该基板保持器被构成为保持多边形基板;镀覆槽,该镀覆槽用于收容所述阳极保持器及所述基板保持器,并将所述阳极及所述基板浸渍于镀覆液;及控制装置,该控制装置用于控制在所述阳极与所述基板之间流动的电流。所述基板保持器具有多个供电部件,该多个供电部件沿着所述多边形基板的各边而配置。所述控制装置被构成为,能够以可同时对所述多个供电部件供给至少2个不同值的电流的方式来控制电流。
公开/授权文献
- CN111304715B 镀覆装置、镀覆方法 公开/授权日:2021-01-26