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公开(公告)号：CN110055569A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910042284.3
申请日：2019-01-16
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供电流测定模块及检查用基板，能检测出因基板保持件的原因导致的电阻异常。电流测定模块使用检查用基板检测检测流向基板保持件的电流，基板保持件具有向基板供给电流且能与基板接触的多个保持件电接点，并能保持检查用基板，在保持检查用基板的状态下多个保持件电接点各自与设置于检查用基板的电独立的多个基板电接点分别接触，检查用基板具有：通过配线与多个基板电接点分别连接的多个测定点；与多个测定点电连结的基板侧连接器，电流测定模块具有：能与检查用基板的多个测定点分别接触的多个检查探针；与多个检查探针电连结的测定侧连接器，将基板侧连接器与测定侧连接器连接，检查用基板的多个测定点各自与多个检查探针分别电连接。
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公开(公告)号：CN114752976A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202210460141.6
申请日：2022-04-28
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 提供对基板高效地进行前置处理的预湿模块、脱气液循环系统和预湿方法。预湿模块(200)包括：脱气槽(210)，其收容脱气液；处理装置(258)，其包括喷嘴(268)，其对被处理面向上的基板的被处理面供给清洗液；基板保持架(220)，其具有配置于脱气槽与处理装置之间且保持第1基板的第1保持构件(222)和保持第2基板的第2保持构件(224)；以及驱动机构(230)，其使基板保持架旋转和升降，驱动机构(230)包括：旋转机构(240)，其使基板保持架在使第1基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第1状态和使第2基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第2状态之间旋转；和升降机构(248)，其使基板保持架升降。
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公开(公告)号：CN110055569B
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN201910042284.3
申请日：2019-01-16
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供电流测定模块及检查用基板，能检测出因基板保持件的原因导致的电阻异常。电流测定模块使用检查用基板检测检测流向基板保持件的电流，基板保持件具有向基板供给电流且能与基板接触的多个保持件电接点，并能保持检查用基板，在保持检查用基板的状态下多个保持件电接点各自与设置于检查用基板的电独立的多个基板电接点分别接触，检查用基板具有：通过配线与多个基板电接点分别连接的多个测定点；与多个测定点电连结的基板侧连接器，电流测定模块具有：能与检查用基板的多个测定点分别接触的多个检查探针；与多个检查探针电连结的测定侧连接器，将基板侧连接器与测定侧连接器连接，检查用基板的多个测定点各自与多个检查探针分别电连接。
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公开(公告)号：CN111304715A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010257887.8
申请日：2016-08-23
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种使镀覆于多边形基板的膜的面内均匀性提高的镀覆装置、镀覆方法、及基板保持器，其具有：阳极保持器，该阳极保持器被构成为保持阳极；基板保持器，该基板保持器被构成为保持多边形基板；镀覆槽，该镀覆槽用于收容所述阳极保持器及所述基板保持器，并将所述阳极及所述基板浸渍于镀覆液；及控制装置，该控制装置用于控制在所述阳极与所述基板之间流动的电流。所述基板保持器具有多个供电部件，该多个供电部件沿着所述多边形基板的各边而配置。所述控制装置被构成为，能够以可同时对所述多个供电部件供给至少2个不同值的电流的方式来控制电流。
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公开(公告)号：CN106480480B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201610710826.6
申请日：2016-08-23
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种使镀覆于多边形基板的膜的面内均匀性提高的镀覆装置、镀覆方法、及基板保持器，其具有：阳极保持器，该阳极保持器被构成为保持阳极；基板保持器，该基板保持器被构成为保持多边形基板；镀覆槽，该镀覆槽用于收容所述阳极保持器及所述基板保持器，并将所述阳极及所述基板浸渍于镀覆液；及控制装置，该控制装置用于控制在所述阳极与所述基板之间流动的电流。所述基板保持器具有多个供电部件，该多个供电部件沿着所述多边形基板的各边而配置。所述控制装置被构成为，能够以可同时对所述多个供电部件供给至少2个不同值的电流的方式来控制电流。
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公开(公告)号：CN106480480A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201610710826.6
申请日：2016-08-23
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种使镀覆于多边形基板的膜的面内均匀性提高的镀覆装置、镀覆方法、及基板保持器，其具有：阳极保持器，该阳极保持器被构成为保持阳极；基板保持器，该基板保持器被构成为保持多边形基板；镀覆槽，该镀覆槽用于收容所述阳极保持器及所述基板保持器，并将所述阳极及所述基板浸渍于镀覆液；及控制装置，该控制装置用于控制在所述阳极与所述基板之间流动的电流。所述基板保持器具有多个供电部件，该多个供电部件沿着所述多边形基板的各边而配置。所述控制装置被构成为，能够以可同时对所述多个供电部件供给至少2个不同值的电流的方式来控制电流。
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公开(公告)号：CN105980612A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580007863.4
申请日：2015-02-05
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： C25D17/10 , C25D17/00 , C25D17/001 , C25D17/002 , C25D17/04 , C25D17/06
摘要： 本发明提供一种防止配置有阳极的内部空间与外部空间之间的添加剂及黑膜(Black film)扩散的阳极保持器及具备该阳极保持器的镀覆装置。本发明的阳极保持器(60)具有：用于收容阳极的内部空间(61)；以覆盖内部空间(61)前面的方式构成的隔膜；形成于阳极保持器的外表面，并与内部空间(61)连通的孔(71)；及用于密封孔(71)的阀门(91)。
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公开(公告)号：CN114752976B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202210460141.6
申请日：2022-04-28
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 提供对基板高效地进行前置处理的预湿模块、脱气液循环系统和预湿方法。预湿模块(200)包括：脱气槽(210)，其收容脱气液；处理装置(258)，其包括喷嘴(268)，其对被处理面向上的基板的被处理面供给清洗液；基板保持架(220)，其具有配置于脱气槽与处理装置之间且保持第1基板的第1保持构件(222)和保持第2基板的第2保持构件(224)；以及驱动机构(230)，其使基板保持架旋转和升降，驱动机构(230)包括：旋转机构(240)，其使基板保持架在使第1基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第1状态和使第2基板的被处理面与脱气槽内的脱气液相向的第2状态之间旋转；和升降机构(248)，其使基板保持架升降。
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