发明授权
摘要:
本发明公开的一种激光共焦/差动共焦振动参数测量方法,属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦、差动共焦测量系统中,首先在共焦、差动共焦轴向响应曲线上定义了最优测试区间,在最优测试区间内,共焦、差动共焦轴向响应曲线对轴向位移的灵敏度最高。其次,针对不同的振幅,定义了不同的测量模式。通过不同的测量模式来确保振动的最大轴向位移始终位于最优测试区间内。进而利用强度与振动面轴向位置的对应关系实现具有高动态范围的振动特性测量。与已有的振动测量方法相比,本发明具有测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强且结构简单等优势,在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。
公开/授权文献
- CN111307268A 激光共焦/差动共焦振动参数测量方法 公开/授权日:2020-06-19