公开(公告)号：CN111307268A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN202010165514.8

申请日：2020-03-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 赵维谦 ,  何奇 ,  邱丽荣

IPC分类号： G01H9/00

摘要： 本发明公开的一种激光共焦/差动共焦振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦、差动共焦测量系统中，首先在共焦、差动共焦轴向响应曲线上定义了最优测试区间，在最优测试区间内，共焦、差动共焦轴向响应曲线对轴向位移的灵敏度最高。其次，针对不同的振幅，定义了不同的测量模式。通过不同的测量模式来确保振动的最大轴向位移始终位于最优测试区间内。进而利用强度与振动面轴向位置的对应关系实现具有高动态范围的振动特性测量。与已有的振动测量方法相比，本发明具有测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强且结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN111307268B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202010165514.8

申请日：2020-03-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 赵维谦 ,  何奇 ,  邱丽荣

IPC分类号： G01H9/00

摘要： 本发明公开的一种激光共焦/差动共焦振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明在共焦、差动共焦测量系统中，首先在共焦、差动共焦轴向响应曲线上定义了最优测试区间，在最优测试区间内，共焦、差动共焦轴向响应曲线对轴向位移的灵敏度最高。其次，针对不同的振幅，定义了不同的测量模式。通过不同的测量模式来确保振动的最大轴向位移始终位于最优测试区间内。进而利用强度与振动面轴向位置的对应关系实现具有高动态范围的振动特性测量。与已有的振动测量方法相比，本发明具有测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强且结构简单等优势，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN111307269A

公开(公告)日：2020-06-19

申请号：CN202010165621.0

申请日：2020-03-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 赵维谦 ,  何奇 ,  邱丽荣

IPC分类号： G01H9/00

摘要： 本发明公开的一种激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明融合了共焦振动检测、差动共焦振动检测和拉曼光谱探测技术，并利用二向色分光系统对瑞利光和拉曼散射光进行无损分离，其中，拉曼散射光进行光谱探测，瑞利光进行振幅、频率等振动参数检测。构成一种可实现样品微区的振动参数和样品微区振动的拉曼光谱同时检测的振动信息测试方法。本发明使共焦拉曼显微镜和差动共焦拉曼显微镜具备了同时探测微区振动参数信息和微区振动的拉曼光谱的能力。具有振动测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、光谱探测灵敏度高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强等优势。同时进行微区振动参数和振动光谱特性的高精度检测，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN111307269B

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202010165621.0

申请日：2020-03-11

申请人： 北京理工大学

发明人： 赵维谦 ,  何奇 ,  邱丽荣

IPC分类号： G01H9/00

摘要： 本发明公开的一种激光共焦/差动共焦拉曼光谱振动参数测量方法，属于光学精密测量技术领域。本发明融合了共焦振动检测、差动共焦振动检测和拉曼光谱探测技术，并利用二向色分光系统对瑞利光和拉曼散射光进行无损分离，其中，拉曼散射光进行光谱探测，瑞利光进行振幅、频率等振动参数检测。构成一种可实现样品微区的振动参数和样品微区振动的拉曼光谱同时检测的振动信息测试方法。本发明使共焦拉曼显微镜和差动共焦拉曼显微镜具备了同时探测微区振动参数信息和微区振动的拉曼光谱的能力。具有振动测量精度高、振幅测量范围广、频率测量带宽高、光谱探测灵敏度高、可测量周期运动和非周期运动、抗环境干扰能力强等优势。同时进行微区振动参数和振动光谱特性的高精度检测，在光学精密测量技术领域具有广泛的应用前景。