一种叉指电极的制备方法
摘要:
本发明提供了一种叉指电极的制备方法,涉及表面声波滤波器的技术领域。叉指电极的制备方法包括:在衬底上方依次形成碳层和光阻层;对光阻层和碳层进行图案化,形成图案层;若图案层的图案与所需的金属线的图案互补,则在含有图案层的衬底上方形成金属层,再去除图案层上的金属层的部分以及图案层;若图案层的图案与所需的金属线的图案相同,则在衬底上方形成碳层之前,在衬底上形成金属层,再去除金属层上与图案层互补区域的部分。该方法能够有效提升光阻层的附着性,并提升黄光的工艺窗口,而且剩余的金属层的部分形成金属线,形成的金属线的线宽较小。
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