发明公开
CN111327284A 一种叉指电极的制备方法
审中-公开
- 专利标题: 一种叉指电极的制备方法
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申请号: CN202010100551.0申请日: 2020-02-18
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公开(公告)号: CN111327284A公开(公告)日: 2020-06-23
- 发明人: 朱庆芳 , 蔡文必 , 林彩文 , 王信棋 , 高俊华
- 申请人: 厦门市三安集成电路有限公司
- 申请人地址: 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
- 专利权人: 厦门市三安集成电路有限公司
- 当前专利权人: 厦门市三安集成电路有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
- 代理机构: 北京超成律师事务所
- 代理商 郭俊霞
- 主分类号: H03H3/08
- IPC分类号: H03H3/08 ; H03H9/02 ; H03H9/145
摘要:
本发明提供了一种叉指电极的制备方法,涉及表面声波滤波器的技术领域。叉指电极的制备方法包括:在衬底上方依次形成碳层和光阻层;对光阻层和碳层进行图案化,形成图案层;若图案层的图案与所需的金属线的图案互补,则在含有图案层的衬底上方形成金属层,再去除图案层上的金属层的部分以及图案层;若图案层的图案与所需的金属线的图案相同,则在衬底上方形成碳层之前,在衬底上形成金属层,再去除金属层上与图案层互补区域的部分。该方法能够有效提升光阻层的附着性,并提升黄光的工艺窗口,而且剩余的金属层的部分形成金属线,形成的金属线的线宽较小。