公开(公告)号：CN110085736A

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201910351510.6

申请日：2019-04-28

申请人： 厦门市三安集成电路有限公司

发明人： 王信棋 ,  林志东 ,  谢祥政 ,  林彩文

IPC分类号： H01L41/312 ,  H01L41/337 ,  H03H9/02 ,  H03H9/64

摘要： 本发明公开了一种薄膜单晶压电材料复合基板的制造方法和应用，包括以下步骤：S1：在衬底上沉积一层介质材料；S2：于介质材料上沉积一层金属层；S3：涂覆光刻胶，曝光，显影后定义出截止层图形，形成非截止区域；S4：采用湿法蚀刻工艺刻蚀非截止区域的金属层，并去除光刻胶形成截止层；S5：将压电材料与非截止区域的介质材料键合，压电材料的硬度小于截止层的硬度；S6：先将压电材料进行研磨减薄，再采用化学机械研磨，通过截止层控制压电材料的厚度；S7：对衬底的背面进行研磨和抛光；S8：对截止层区域進行激光切割或边磨削，去除截止层。本发明不但工艺简单，而且可避免因离子植入造成的压电材料极化与损伤层修复问题。

公开(公告)号：CN111327284A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN202010100551.0

申请日：2020-02-18

申请人： 厦门市三安集成电路有限公司

发明人： 朱庆芳 ,  蔡文必 ,  林彩文 ,  王信棋 ,  高俊华

IPC分类号： H03H3/08 ,  H03H9/02 ,  H03H9/145

摘要： 本发明提供了一种叉指电极的制备方法，涉及表面声波滤波器的技术领域。叉指电极的制备方法包括：在衬底上方依次形成碳层和光阻层；对光阻层和碳层进行图案化，形成图案层；若图案层的图案与所需的金属线的图案互补，则在含有图案层的衬底上方形成金属层，再去除图案层上的金属层的部分以及图案层；若图案层的图案与所需的金属线的图案相同，则在衬底上方形成碳层之前，在衬底上形成金属层，再去除金属层上与图案层互补区域的部分。该方法能够有效提升光阻层的附着性，并提升黄光的工艺窗口，而且剩余的金属层的部分形成金属线，形成的金属线的线宽较小。