- 专利标题: 一种折射式彩色共焦测量内孔表面形貌的测头结构
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申请号: CN202010319860.7申请日: 2020-04-22
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公开(公告)号: CN111366102B公开(公告)日: 2022-07-26
- 发明人: 李延磊
- 申请人: 山东省科学院激光研究所
- 申请人地址: 山东省济宁市高新区海川路46号山东省科学院激光研究所综合楼
- 专利权人: 山东省科学院激光研究所
- 当前专利权人: 山东省科学院激光研究所
- 当前专利权人地址: 山东省济宁市高新区海川路46号山东省科学院激光研究所综合楼
- 代理机构: 济南诚智商标专利事务所有限公司
- 代理商 李怀秋
- 主分类号: G01B11/24
- IPC分类号: G01B11/24 ; G01B11/00
摘要:
本发明公开了一种折射式彩色共焦测量内孔表面形貌的测头结构,涉及光学表面检测技术领域。包括直角棱镜、色散镜头及中空旋转机构,所述直角棱镜设置于内孔件中,所述色散镜头的一端通过螺钉与直角棱镜相紧固连接,所述色散镜头的另一端嵌装于中空旋转机构内;所述色散镜头由筒体、准直透镜、色散透镜及聚焦透镜所组成。该折射式彩色共焦测量内孔表面形貌的测头结构,通过设置微型中空旋转减速器与微型直流电机,实现了效率高的优点,经微型直流电机的旋转运动带动设置于微型中空旋转减速器上的色散镜头,进而带动直角棱镜进行旋转,来扫描内孔件的内壁表面,以此测量内孔表面形貌,具有高效率的量测效果。
公开/授权文献
- CN111366102A 一种折射式彩色共焦测量内孔表面形貌的测头结构 公开/授权日:2020-07-03