发明授权
- 专利标题: 一种三维存储器的编程方法及编程系统
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申请号: CN202010196549.8申请日: 2020-03-19
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公开(公告)号: CN111370046B公开(公告)日: 2022-04-19
- 发明人: 靳磊 , 王治煜 , 候伟 , 贾信磊 , 李春龙 , 霍宗亮
- 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人: 中国科学院微电子研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区北土城西路3号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 张雪娇
- 主分类号: G11C16/04
- IPC分类号: G11C16/04 ; G11C16/10 ; G11C16/08
摘要:
本申请公开了一种三维存储器的编程方法及编程系统,该方法对待编程存储结构的第一预设字线提供第一导通波形,对预设存储结构的第三预设字线和第四预设字线分别提供第二导通波形和第三导通波形,在第一阶段,由于第二导通波形的第五预设值大于第一导通波形的第二预设值,此时三维存储器沟道中的残余电子被预设存储结构吸引,到达预设存储结构的沟道中;为了避免残余电子返回待编程存储结构,第三导通波形在第五阶段时,导通电压从第七预设值降低为第八预设值,配合第二预设字线中通过的电压在预设存储结构中形成一个电压势垒,从而避免了残余电子对待编程存储结构的编程过程产生串扰,实现了避免残余电子对编程抑制操作产生不良影响的目的。
公开/授权文献
- CN111370046A 一种三维存储器的编程方法及编程系统 公开/授权日:2020-07-03