发明公开
CN111408830A 一种CVD设备超精密零件的加工工艺
无效 - 撤回
- 专利标题： 一种CVD设备超精密零件的加工工艺
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申请号： CN202010239679.5申请日： 2020-03-30
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公开(公告)号： CN111408830A公开(公告)日： 2020-07-14
- 发明人: 李文明
- 申请人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 申请人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人： 沈阳富创精密设备有限公司
- 当前专利权人地址： 辽宁省沈阳市东陵区飞云路18甲-1号
- 代理机构： 沈阳优普达知识产权代理事务所
- 代理商 俞鲁江
- 主分类号： B23K15/00
- IPC分类号： B23K15/00 ; C23G1/12 ; C25D11/04 ; C25D11/02 ; B08B3/02 ; B08B3/08
摘要：
本发明公开一种超精密零件的加工工艺将精密机械加工，精密电子束焊接，超高洁净度清洗工艺，超厚度硬质阳极表面处理工艺等多种工艺结合，完成一款超精密零件的制造。本发明焊接零件达到超高精度需求的极限，壁厚1mm-2mm。
