一种微流体致动器的制造方法，包含以下步骤：提供第一基板沉积腔体层；腔体层沉积蚀刻振动层；振动层沉积蚀刻第一金属层；第一金属层沉积蚀刻压电致动层；压电致动层沉积蚀刻隔离层；隔离层涂布显影第一光阻层；第一光阻层沉积掀离第二金属层；第二金属层镀膜蚀刻防水层；防水层涂布显影第二光阻层；提供第二基板滚压蚀刻薄膜胶层以及入口层；入口层涂布显影流道层；流道层滚压蚀刻共振层；共振层翻转对位以及晶圆接合于光阻层上；第一基板沉积蚀刻罩幕层；腔体层蚀刻储流腔室；入口层滚压显影第三光阻层；以及第一基板粘贴阵列孔片。