发明公开

X射线检查装置
摘要:
本发明的X射线检查装置具备:试样配置部(11),配置作为检查对象的试样;试样配置部定位机构(30),使试样配置部(11)移动;测角仪(20),包括独立回转的第一、第二回转部件(22、23);X射线照射单元(40),搭载于第一回转部件(22);以及二维X射线检测器(50),搭载于第二回转部件(23)。而且,试样配置部定位机构(30)包括以在测定点P与θs轴及θd轴正交并且在水平方向上延伸的χ轴为中心,使试样配置部(11)以及 轴旋转的χ旋转机构(35)。
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