发明公开
CN111527400A X射线检查装置
审中-实审
- 专利标题: X射线检查装置
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申请号: CN201880084358.3申请日: 2018-09-05
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公开(公告)号: CN111527400A公开(公告)日: 2020-08-11
- 发明人: 松嶋直树 , 尾形洁 , 表和彦 , 吉原正 , 伊藤义泰 , 本野宽 , 高桥秀明 , 樋口明房 , 梅垣志朗 , 浅野繁松 , 山口僚太郎 , 洞田克隆
- 申请人: 株式会社理学
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 株式会社理学
- 当前专利权人: 株式会社理学
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 张丽
- 优先权: 2017-253019 2017.12.28 JP
- 国际申请: PCT/JP2018/032810 2018.09.05
- 国际公布: WO2019/130663 JA 2019.07.04
- 进入国家日期: 2020-06-28
- 主分类号: G01N23/20016
- IPC分类号: G01N23/20016 ; G01N23/207
摘要:
本发明的X射线检查装置具备:试样配置部(11),配置作为检查对象的试样;试样配置部定位机构(30),使试样配置部(11)移动;测角仪(20),包括独立回转的第一、第二回转部件(22、23);X射线照射单元(40),搭载于第一回转部件(22);以及二维X射线检测器(50),搭载于第二回转部件(23)。而且,试样配置部定位机构(30)包括以在测定点P与θs轴及θd轴正交并且在水平方向上延伸的χ轴为中心,使试样配置部(11)以及 轴旋转的χ旋转机构(35)。
IPC分类: