一种陶瓷粉体、掩膜版及其制作方法
摘要:
本发明涉及OLED显示技术领域,具体涉及一种陶瓷粉体、掩膜版及其制作方法,所述陶瓷粉体由以下重量份数的原料组成:Al2O3 44‑48份、AlN 3‑3.5份、SiC 1‑2份、SiO2 5‑10份、TiO2 5‑6份、ZrO2 2.3‑2.8份、ZnO 1‑1.5份、稀土氧化物0.2‑0.4份,其可以在掩膜版表面形成绝缘且耐腐蚀的涂层,延长掩膜版的使用寿命,降低OLED显示装置生产中的成本。
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