发明授权
- 专利标题： 溅射镀膜方法、装置及系统
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申请号： CN202010780454.0申请日： 2020-08-06
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公开(公告)号： CN111647865B公开(公告)日： 2020-11-24
- 发明人: 苏晓虎 , 苏秋城 , 汤天云 , 张俊芹
- 申请人： 北京卓立汉光仪器有限公司
- 申请人地址： 北京市通州区中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号68号楼B
- 专利权人： 北京卓立汉光仪器有限公司
- 当前专利权人： 北京卓立汉光仪器有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市通州区中关村科技园区通州园金桥产业基地环科中路16号68号楼B
- 代理机构： 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 孙乳笋; 赵平
- 主分类号： C23C14/35
- IPC分类号： C23C14/35 ; C23C14/54
摘要：
本申请实施例提供一种溅射镀膜方法、装置及系统，方法包括：获取靶材在镀膜过程中的当前靶电压；根据所述当前靶电压与设定电压值的电压差值和所述电压差值在设定时间周期内的变化速率和变化总量，确定气体流量调控值；根据所述气体流量调控值确定镀膜过程中的气体流量装置的工作功率；本申请能够有效监控镀膜过程中的等离子反应速率，及时调整反应气体流量，提高镀膜效率和准确率。
公开/授权文献
- CN111647865A 溅射镀膜方法、装置及系统 公开/授权日：2020-09-11