一种基于白光干涉测量板条键合面的点云数据获取方法
摘要:
本发明提供一种基于白光干涉测量板条键合面的点云数据获取方法,属于激光板条的质量检测领域,白光干涉系统通过光纤探头对键合面进行光斑点式探测,配合位移调节架实现扫描测试,提出一种改进的点云数据获取方法,尤其涉及双曲率参数加权平均值评估,经过粗测和精测两次点云数据获取的技术方法,具体是:首先粗测采点,获取键合面初步点云,包括键合面三维位置点云,和对应点反射率信息点云;然后构建邻域,求解两种点云对应的曲率分布;最后根据两曲率加权值的值域分级别对键合面区域分割,插值补测。本发明创新性提出改进的加权平均合曲率参数作为键合面缺陷评价指标,并针对合曲率大的区域插值补测,有效节省检测成本。
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