发明授权
- 专利标题： 切割装置以及切割方法
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申请号： CN201880088934.1申请日： 2018-11-09
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公开(公告)号： CN111699545B公开(公告)日： 2021-09-14
- 发明人: 福家朋来 , 清水翼 , 西山真生
- 申请人： 株式会社东京精密
- 申请人地址： 日本国东京都
- 专利权人： 株式会社东京精密
- 当前专利权人： 株式会社东京精密
- 当前专利权人地址： 日本国东京都
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 刘文海
- 优先权： 2018-021222 20180208 JP 2018-163613 20180831 JP 2018-163614 20180831 JP 2018-163615 20180831 JP
- 国际申请： PCT/JP2018/041727 2018.11.09
- 国际公布： WO2019/155707 JA 2019.08.15
- 进入国家日期： 2020-08-07
- 主分类号： H01L21/301
- IPC分类号： H01L21/301 ; B24B27/06 ; B24B49/12
摘要：
一种切割装置(10)，其在隔着切割带(T)将工件(W)保持于工作台(12)的状态下，使通过主轴(20)旋转的刀片(18)与工作台(18)相对移动来进行切割加工，该切割装置(10)具备：切削痕检测部(52)，其检测在切割带(T)的未粘贴工件(W)的表面区域形成的切削痕的切削痕信息；以及控制部(56)，其基于切削痕检测部(52)检测到的切削痕信息来控制刀片(18)的高度，以使向切割带(T)切入的切入深度恒定。
公开/授权文献
- CN111699545A 切割装置、切割方法以及切割带 公开/授权日：2020-09-22