本申请提供一种超高纯均匀型硅溶胶制备方法，用于解决现有的硅溶胶离子含量高、均匀性差的技术问题。本申请的制备方法包括如下步骤：将超纯水加热后，加入催化剂，搅拌，加热至95℃。缓缓加入定量光伏硅粉，得到硅溶胶种子溶液；将钾水玻璃用超纯水稀释至含二氧化硅质量分数为3～10%，过阴阳离子交换树脂，得到活性硅酸；在光伏硅粉中，加入超纯水，用搅拌机搅拌至均匀流体硅粉，待用；将硅溶胶种子溶液进行加热，将活性硅酸和流体硅粉用蠕动泵按先快后慢的速率交叉滴入硅溶胶种子溶液中，在反应过程中用蠕动泵按先快后慢的速率滴加催化剂，控制二氧化硅溶胶的pH值在11.50～12.50，反应时间8～40h，停止加热，反应结束，过滤得到超高纯均匀型硅溶胶。