- 专利标题： 一种防止湿法氧化时过度氧化的垂直腔面发射激光器的制作方法
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申请号： CN201910217890.4申请日： 2019-03-21
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公开(公告)号： CN111725702B公开(公告)日： 2021-04-06
- 发明人: 李志虎 , 于军 , 邓桃 , 张新 , 徐现刚
- 申请人： 潍坊华光光电子有限公司
- 申请人地址： 山东省潍坊市奎文区高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房
- 专利权人： 潍坊华光光电子有限公司
- 当前专利权人： 潍坊华光光电子有限公司
- 当前专利权人地址： 山东省潍坊市奎文区高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房
- 代理机构： 济南金迪知识产权代理有限公司
- 代理商 许德山
- 主分类号： H01S5/183
- IPC分类号： H01S5/183
摘要：
本发明涉及一种防止湿法氧化时过度氧化的垂直腔面发射激光器的制作方法，通过限制层孔道制作，在高温氧化时制作的限制层金属能够在很大程度上防止水蒸汽的过度氧化，本发明中通过限制层孔道制作可以比较有效的阻止过度氧化，在湿法氧化时只需要在原先测算平均氧化速率的基础上继续增加氧化时间，可以完全保证氧化的完成而又不会过度氧化，从而达到我们需要的孔径大小，实际上该种工艺将需要的氧化通道提前制作出来。
公开/授权文献
- CN111725702A 一种防止湿法氧化时过度氧化的垂直腔面发射激光器的制作方法 公开/授权日：2020-09-29
