悬臂型探针及探针卡
Abstract:
提供具有对被检查体的电极端子的低针压化和供给电流的最大化这两种特性的电触头及探针卡。本发明的电触头的特征在于,具有:接触部,其与第一接触对象和第二接触对象电接触,由导电性材料形成;以及基部,其安装在基板上,并且弹性地支承所述接触部,由合成树脂材料形成。本发明的探针卡将检查装置和被检查体的电极端子之间电连接,该探针卡的特征在于,具有:探针基板,其具有与检查装置电连接的布线电路,在一个表面上具有与所述布线电路连接的多个基板电极;以及本发明的第1发明的多个电触头。
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