本申请提供一种光谱仪及其制备方法。所述光谱仪包括谐振腔，所述谐振腔包括相对设置的第一反射层及第二反射层。所述光谱仪还包括超表面结构，所述超表面结构形成于所述第一反射层朝向所述第二反射层的一侧，所述超表面结构与所述第二反射层间隔设置。所述超表面结构包括多个间隔排布的结构单元，所述结构单元包括多个阵列排布的柱状结构。同一所述结构单元的柱状结构在所述第一反射层上的正投影的面积相同，至少两个所述结构单元的柱状结构在所述第一反射层上的正投影的面积不同。