发明公开
- 专利标题: 一种电磁研磨盘基座
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申请号: CN202010821729.0申请日: 2020-08-15
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公开(公告)号: CN111843633A公开(公告)日: 2020-10-30
- 发明人: 王永成
- 申请人: 上海致领半导体科技发展有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室
- 专利权人: 上海致领半导体科技发展有限公司
- 当前专利权人: 上海致领半导体科技发展有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区创业路369弄1-68号20幢3层301室
- 代理机构: 上海互顺专利代理事务所
- 代理商 韦志刚
- 主分类号: B24B1/00
- IPC分类号: B24B1/00 ; B24B37/11 ; B24B37/27
摘要:
本发明公开了一种电磁研磨盘基座,包括零件、研磨盘、螺丝、凹口座、电磁吸盘、连接盘、主轴、调节口、防导插杆和安装机构,零件紧固安装于研磨盘上,研磨盘上螺纹安装有螺丝,本发明通过优化设置了电磁吸盘和安装机构,隔绝座上电磁圈采用电磁力与零件吸引配合,配合提升研磨精度,加工效率高;将防导插杆嵌入安装机构,安装机构内设有侧卡板限制防导插杆底端结构向上位移,在解除后,防导插杆底端第二弹簧将其托起,组合安装时灵活拆卸,使用效果好。
公开/授权文献
- CN111843633B 一种电磁研磨盘基座 公开/授权日:2024-09-13