粘着胶带及半导体装置的制造方法
摘要:
作为技术问题,本发明的目的在于,特别是在采用预切割法而制造微小的半导体芯片时,减少将芯片21从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印不良。此外,本发明的目的在于,改善将芯片从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印效率。作为解决手段,本发明提供一种粘着胶带10,所述粘着胶带10的特征在于,其优选被用作为上述背磨胶带,其包含基材11与设置在该基材11的一面的粘着剂层12,所述粘着剂层12由能量射线固化性粘着剂构成,照射能量射线而固化后的粘着剂的200℃下的储能模量E’200为1.5MPa以上。
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