发明公开
CN111868193A 粘着胶带及半导体装置的制造方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 粘着胶带及半导体装置的制造方法
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申请号: CN201980020566.1申请日: 2019-03-14
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公开(公告)号: CN111868193A公开(公告)日: 2020-10-30
- 发明人: 小升雄一朗 , 前田淳 , 西田卓生
- 申请人: 琳得科株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人: 琳得科株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 张晶; 刘言
- 优先权: 2018-053332 20180320 JP
- 国际申请: PCT/JP2019/010553 2019.03.14
- 国际公布: WO2019/181731 JA 2019.09.26
- 进入国家日期: 2020-09-18
- 主分类号: C09J7/38
- IPC分类号: C09J7/38 ; C09J201/00 ; H01L21/301 ; H01L21/304
摘要:
作为技术问题,本发明的目的在于,特别是在采用预切割法而制造微小的半导体芯片时,减少将芯片21从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印不良。此外,本发明的目的在于,改善将芯片从背磨胶带10转印至拾取胶带30或粘合胶带的转印效率。作为解决手段,本发明提供一种粘着胶带10,所述粘着胶带10的特征在于,其优选被用作为上述背磨胶带,其包含基材11与设置在该基材11的一面的粘着剂层12,所述粘着剂层12由能量射线固化性粘着剂构成,照射能量射线而固化后的粘着剂的200℃下的储能模量E’200为1.5MPa以上。
IPC分类: