本发明是一种刻蚀设备约束环的制造工艺，其特征在于，集精密加工，精密清洗，硬质阳极，氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺；其中在零件的机械加工过程，精密加工采用精车环槽；环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆，环槽宽度2.5±0.01mm，共有10组环槽，层层相连，形成约束环；环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。本发明工艺的成功研发，使精密机械零部件的加工工艺，巧妙的车铣配合，精密的特殊刀具的设计，使本发明效率和加工质量得到提高。