一种高频可调节磁场探测器的制备方法
摘要:
本发明涉及磁场探测技术领域,本发明公开了一种高频可调节磁场探测器的制备方法。该探测器的制备方法具体如下,通过对具有二氧化硅介质层的碳化硅薄膜衬底进行图形化,进而得到待键合碳化硅薄膜衬底,并将该待键合碳化硅薄膜衬底与压电薄膜衬底进行键合,对键合后的薄膜衬底进行退火剥离,得到碳化硅‑压电薄膜结构,再通过刻蚀掉该碳化硅‑压电薄膜内部的部分二氧化硅介质层,之后通过制备叉指电极、低温快退火等工序,得到该磁场探测器。本申请提供的磁场探测器具有频率高和灵敏度高的特点。
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