- 专利标题: 一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法
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申请号: CN202010801746.8申请日: 2020-08-11
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公开(公告)号: CN111947789B公开(公告)日: 2021-12-21
- 发明人: 李君宇 , 易飞 , 王鹏 , 甘先锋 , 董珊 , 陈文礼 , 王宏臣
- 申请人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
- 申请人地址: 山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
- 专利权人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
- 当前专利权人: 烟台睿创微纳技术股份有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 王晓坤
- 主分类号: G01J5/20
- IPC分类号: G01J5/20
摘要:
本申请公开了双色偏振红外探测器及其制作方法,包括多个探测器单元,探测器单元包括四个超像元结构,超像元结构包括四个像素单元;像素单元包括基底层、第一悬空层、第二悬空层,第一悬空层包括支撑结构层和超表面吸收层,超表面吸收层位于支撑结构层的两个支撑与电连接孔之间,且超表面吸收层包括背板层、介质层、金属阵列层,金属阵列层包括多个不同尺寸的金属块,第二悬空层包括第一支撑层和线栅层;同一超像元结构中的四个线栅层具有各不相同的线栅朝向角度,位于同一对角线上的两个超像元结构中的金属阵列层相同,且两条对角线上的金属阵列层中的金属块尺寸不等,以实现对红外波段的双色偏振成像,无需制作高度不同的谐振腔,制作工艺简单。
公开/授权文献
- CN111947789A 一种双色偏振非制冷红外探测器及其制作方法 公开/授权日:2020-11-17