- 专利标题： 一种FCOB存储器件的制造方法及其电容器
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申请号： CN202010871391.X申请日： 2020-08-26
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公开(公告)号： CN111968981B公开(公告)日： 2021-12-24
- 发明人: 华文宇 , 陶谦 , 刘藩东 , 夏季
- 申请人： 无锡拍字节科技有限公司
- 申请人地址： 江苏省无锡市新吴区弘毅路8号东庄电力电子科技园金帛座502
- 专利权人： 无锡拍字节科技有限公司
- 当前专利权人： 无锡拍字节科技有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省无锡市新吴区弘毅路8号东庄电力电子科技园金帛座502
- 代理机构： 上海智晟知识产权代理事务所
- 代理商 张东梅
- 主分类号： H01L27/11507
- IPC分类号： H01L27/11507 ; H01L27/11514
摘要：
本发明公开了一种存储器件的制造方法，包括：提供半导体衬底，在半导体衬底上形成第一介质层，在第一介质层形成导电柱，在第一介质层上形成第二介质层，在第二介质层形成导电互连和金属位线，在第二介质层上形成第三介质层，在第三介质层形成电容器接触盘，在第三介质层上形成第四介质层，在第四介质层形成铁电电容器，在第四介质层上形成第五介质层，在第五介质层形成于电容器上电极连接的金属板线。
公开/授权文献
- CN111968981A 一种FCOB存储器件的制造方法及其电容器 公开/授权日：2020-11-20
IPC分类:
