一种替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法
摘要:
本发明公开了一种替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法,涉及磁性随机存储器技术领域,所述该赝磁性隧道结单元,包括赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)参考层、赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)势垒层,其中,赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)的势垒层需用其他导电率较好的材料代替,这里的材料优选Mg。该替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法,采用赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)替代磁性随机存储器(MRAM)的外围电路区域(Periphery)中的通孔(VIA),同样可以完成电路连接。
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