发明授权
- 专利标题: 一种替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法
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申请号: CN201910433648.0申请日: 2019-05-23
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公开(公告)号: CN111987216B公开(公告)日: 2024-04-16
- 发明人: 陈峻 , 肖荣福 , 郭一民 , 麻榆阳
- 申请人: 上海磁宇信息科技有限公司
- 申请人地址: 上海市嘉定区工业区兴顺路558号2幢2层
- 专利权人: 上海磁宇信息科技有限公司
- 当前专利权人: 上海磁宇信息科技有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区工业区兴顺路558号2幢2层
- 代理机构: 上海容慧专利代理事务所
- 代理商 于晓菁
- 主分类号: H10N52/01
- IPC分类号: H10N52/01 ; H10N50/10 ; H10N52/00 ; H10B61/00
摘要:
本发明公开了一种替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法,涉及磁性随机存储器技术领域,所述该赝磁性隧道结单元,包括赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)参考层、赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)势垒层,其中,赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)的势垒层需用其他导电率较好的材料代替,这里的材料优选Mg。该替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法,采用赝磁性隧道结(Dummy‑MTJ)替代磁性随机存储器(MRAM)的外围电路区域(Periphery)中的通孔(VIA),同样可以完成电路连接。
公开/授权文献
- CN111987216A 一种替代通孔的赝磁性隧道结单元制备方法 公开/授权日:2020-11-24