本发明涉及一种色谱柱的复原再利用工艺及其控制方法、装置和系统，该工艺包括以下步骤：将高纯氧气通入预热腔，并在预热腔内将高纯氧气预热至初始温度；切换阀门至喂氧连通位，则预热腔与色谱柱相连通，使得所述预热腔内达到初始温度的高纯氧气进入色谱柱；加热通入所述色谱柱的高纯氧气至反应温度，并持续通入高纯氧气预设时长，以完成色谱柱的充分喂氧；切换阀门至载气连通位，则载气源与所述色谱柱相连通，以使载气通入所述色谱柱。其解决了现有技术中色谱柱在乙硼烷作用下失效后，无法再利用而只能更换色谱柱所导致的成本较高的技术问题。