本发明提供了一种电子级氢氟酸的制备方法，包括以下步骤：S1，将无水氢氟酸输送到缓冲槽中待用；S2，从所述缓冲槽中输送一定量的无水氢氟酸到投料槽中，再通过重力作用使所述无水氢氟酸流经缓冲塔进入到计量槽中准确计量；S3，将所述计量槽中的无水氢氟酸以预定速率流经初级过滤器后进入塔釜；S4，在塔釜中通入50～60℃的热水，采用低温蒸发，得到高纯度无水氢氟酸气体；S5，将所述高纯度无水氢氟酸气体通入纯化塔中，并通入氧化气体与所述高纯度无水氢氟酸气体反应得到超纯无水氢氟酸气体，从所述纯化塔顶部排出，其中所述氧化气体为氟气和氮气的混合物；S6，将所述超纯无水氢氟酸气体经冷凝器冷凝后，进入调配槽中调整浓度。