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公开(公告)号：CN117208852B
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311281998.2
申请日：2023-10-07
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C01B7/19
摘要： 本发明公开了用于电子级氢氟酸制备的纯化控制系统及方法，涉及氢氟酸制备技术领域，包括化学预处理单元和参数获取单元，所述化学预处理单元通过酸性沉淀、洗涤处理和蒸发浓缩的操作，从而得到更加纯净的无水氢氟酸，通过离子高频质谱分析仪对得到的无水氢氟酸中的杂质元素含量进行监测，所述参数获取单元对接收的元素含量数据进行整合，并将整合的实时数据传输至中央控制单元。本发明通过化学预处理单元得到更加纯净的无水氢氟酸，通过参数获取单元获取无水氢氟酸中的杂质元素含量，从而节约了大量时间和原料，并且减少了纯化的成本，提高了纯化的效率。
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公开(公告)号：CN112044342A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010863355.9
申请日：2020-08-25
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
摘要： 一种用于电子级双氧水的制备装置及制备工艺，涉及双氧水制备领域，包括：用于储备原料双氧水的缓冲槽；用于稀释双氧水的混合器；用于加热稀释双氧水的加热器；用于储备成品双氧水的成品槽；及精密过滤器；其中，混合器的进口同缓冲槽的出口连通，混合器的出口同加热器的进口连通，加热器的出口同成品槽的进口连通，成品槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
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公开(公告)号：CN117187808B
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311196987.4
申请日：2023-09-16
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C23F1/02 , C23F1/20 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/084
摘要： 本发明提供一种铝刻蚀的工艺流程优化方法和系统，涉及铝刻蚀技术领域，该方法包括：S1、准备待刻蚀的铝基材料和蚀刻溶液；S2、在待刻蚀的铝基材料上涂覆保护层；S3、获取涂覆保护层的铝基材料的拍摄图像；S4、基于涂覆保护层的铝基材料的拍摄图像和蚀刻溶液的信息使用卷积神经网络模型确定蚀刻溶液的初始浓度；S5、将涂覆保护层的铝基材料浸泡在蚀刻溶液中，使其与蚀刻溶液反应；S6、获取涂覆保护层的铝基材料浸泡在蚀刻溶液的反应视频；S7、基于涂覆保护层的铝基材料浸泡在蚀刻溶液的反应视频使用长短期神经网络模型确定蚀刻时间；S8、到达蚀刻时间后，则确认完成刻蚀，并去除保护层，该方法能够精确控制和优化铝刻蚀过程。
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公开(公告)号：CN112028088B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010862232.3
申请日：2020-08-25
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种电子级氨水的制备系统，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，蒸发器连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合槽连接。该系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氨水生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；本发明还公开了一种电子级氨水的制备工艺，该工艺在基于上述制备系统的基础上能够实现电子级氨水系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。
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公开(公告)号：CN112048303A
公开(公告)日：2020-12-08
申请号：CN202010880940.X
申请日：2020-08-27
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C09K13/00
摘要： 本发明提供了一种电子级草酸刻蚀液的制备工艺。该电子级草酸刻蚀液的制备工艺，包括：(1)向溶解槽中加入第一超纯水，在第一搅拌转速下加入草酸晶体；(2)草酸晶体加入完毕后，开启第二搅拌转速进行搅拌后送至混配槽；(3)向混配槽中加入第二超纯水，开启第三搅拌转速进行搅拌后过滤即得电子级草酸刻蚀液。由该制备工艺制备得到的电子级草酸刻蚀液具有优异的综合性能，刻蚀面精细，图像清晰、刻蚀精度高。
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公开(公告)号：CN112028088A
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202010862232.3
申请日：2020-08-25
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种电子级氨水的制备系统，包括蒸发器、混合器、混合槽和成品槽，蒸发器连接有液氨储槽，混合器通过过滤管与蒸发器连接，且混合器与混合槽之间连接有循环管组，成品槽与混合槽连接。该系统组成简单，实现了化繁为简，能够实现电子级氨水生产过程的系统化，有助于企业在相对经济的条件下实现量化生产；本发明还公开了一种电子级氨水的制备工艺，该工艺在基于上述制备系统的基础上能够实现电子级氨水系统化的生产，成本相对经济且生产效率较高。
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公开(公告)号：CN111994885A
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN202010867406.5
申请日：2020-08-25
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C01B21/46
摘要： 一种用于电子级硝酸的制备装置及制备工艺，涉及硝酸制备领域，包括：用于稀释原料硝酸的混合槽、用于纯化原料硝酸的再沸器、用于除去原料硝酸中杂质的曝气塔、用于储备成品硝酸的成品槽；以及精密过滤器；混合槽的出口同再沸器的进口连通，再沸器的出口同曝气塔的进口连通，曝气塔的出口通成品槽的进口连通，成品槽的出口同精密过滤器的进口连通。其结构简单，实现了化繁为简，有助于简化生产流程，降低了成产成本，对于提高生产效率具有积极意义。制备工艺基于制备装置来实现，其操作简单、易于实施，使整个生产过程更加精简，生产效率得到了提升。
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公开(公告)号：CN117208852A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311281998.2
申请日：2023-10-07
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C01B7/19
摘要： 本发明公开了用于电子级氢氟酸制备的纯化控制系统及方法，涉及氢氟酸制备技术领域，包括化学预处理单元和参数获取单元，所述化学预处理单元通过酸性沉淀、洗涤处理和蒸发浓缩的操作，从而得到更加纯净的无水氢氟酸，通过离子高频质谱分析仪对得到的无水氢氟酸中的杂质元素含量进行监测，所述参数获取单元对接收的元素含量数据进行整合，并将整合的实时数据传输至中央控制单元。本发明通过化学预处理单元得到更加纯净的无水氢氟酸，通过参数获取单元获取无水氢氟酸中的杂质元素含量，从而节约了大量时间和原料，并且减少了纯化的成本，提高了纯化的效率。
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公开(公告)号：CN116161627B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202211593405.1
申请日：2022-12-13
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： C01B17/80
摘要： 本发明涉及硫酸制备技术领域，且公开了一种电子级硫酸制备用焚硫炉，包括炉膛，所述炉膛内设置有喷洒组件，所述喷洒组件下方设置有气体扰动组件；所述炉膛顶端固定连接有稳固片；本发明中的弧形体在内柱体、异形导向凹槽道及三角弧片的作用下带着第二连接杆上连接的弧形腔体进行转动，溶液腔中设置有硫磺溶液，且溶液腔可通过第二连接杆、进液孔、套接体、送液管将硫磺溶液输送到弧形腔体中，所以在弧形腔体转动过程中会通过弧形腔体上的喷头将硫磺溶液均匀且大范围的喷洒，可最大程度地保证从喷头喷出的硫磺溶液均匀，且较大范围地被喷洒在炉膛中，能最大程度地保证其与空气的接触面积，提高反应效率。
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公开(公告)号：CN111999993B
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202010879439.1
申请日：2020-08-27
申请人： 福建天甫电子材料有限公司
IPC分类号： G03F7/32
摘要： 本发明属于薄膜晶体管加工技术领域，提供了一种电子级TFT显影液的制备工艺。该电子级TFT显影液的制备工艺，包括：(1)将第一超纯水溶解于溶解槽；(2)接着向溶解槽中加入碳酸钠晶体和碳酸氢钠晶体，搅拌后送至混配槽；(3)接着依次向混配槽中加入表面活性剂和第二超纯水，搅拌；(4)过滤即得显影液。由该制备工艺制备得到的显影液具有优异的综合性能，膜渣残留少、显像图形清晰度高、分散稳定性好。
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