发明授权
- 专利标题: 一种非离子型肟酯类光产酸剂
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申请号: CN201910470243.4申请日: 2019-05-31
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公开(公告)号: CN112010788B公开(公告)日: 2022-10-21
- 发明人: 钱晓春 , 胡春青 , 刘葛
- 申请人: 常州强力先端电子材料有限公司 , 常州强力电子新材料股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园;
- 专利权人: 常州强力先端电子材料有限公司,常州强力电子新材料股份有限公司
- 当前专利权人: 常州强力先端电子材料有限公司,常州强力电子新材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省常州市天宁区郑陆镇武澄工业园;
- 代理机构: 北京汉德知识产权代理事务所
- 代理商 刘子文; 徐驰
- 主分类号: C07C309/65
- IPC分类号: C07C309/65 ; C07C309/00 ; C07C303/00 ; C07C303/28 ; G03F7/004
摘要:
本发明提供一种对波长300‑450nm的活性能量射线具有高产酸性且具有高溶解度、高灵敏度和耐热稳定性优异的非离子型肟酯类光产酸剂,具有如通式(A)所示结构。
公开/授权文献
- CN112010788A 一种非离子型肟酯类光产酸剂 公开/授权日:2020-12-01