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公开(公告)号:CN112010788B
公开(公告)日:2022-10-21
申请号:CN201910470243.4
申请日:2019-05-31
申请人: 常州强力先端电子材料有限公司 , 常州强力电子新材料股份有限公司
IPC分类号: C07C309/65 , C07C309/00 , C07C303/00 , C07C303/28 , G03F7/004
摘要: 本发明提供一种对波长300‑450nm的活性能量射线具有高产酸性且具有高溶解度、高灵敏度和耐热稳定性优异的非离子型肟酯类光产酸剂,具有如通式(A)所示结构。
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公开(公告)号:CN112558409B
公开(公告)日:2022-05-20
申请号:CN201910908573.7
申请日:2019-09-25
申请人: 常州强力先端电子材料有限公司 , 常州强力电子新材料股份有限公司
IPC分类号: G03F7/004 , C09D11/03 , C09D11/38 , C09D7/63 , C07D209/48 , C07D403/04 , C07D401/04 , C07D209/86 , C07D409/04 , C07D417/04 , C07D413/04 , C07D209/88
摘要: 本发明公开一种能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有如下通式(A)所示结构。该光产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm的活性能量射线具有高灵敏度、溶解度高且耐热性优异。
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公开(公告)号:CN112558409A
公开(公告)日:2021-03-26
申请号:CN201910908573.7
申请日:2019-09-25
申请人: 常州强力先端电子材料有限公司 , 常州强力电子新材料股份有限公司
IPC分类号: G03F7/004 , C09D11/03 , C09D11/38 , C09D7/63 , C07D209/48 , C07D403/04 , C07D401/04 , C07D209/86 , C07D409/04 , C07D417/04 , C07D413/04 , C07D209/88
摘要: 本发明公开一种能够在I线高产酸的磺酰亚胺类光产酸剂,具有如下通式(A)所示结构。该光产酸剂对波长300‑450nm特别是365nm的活性能量射线具有高灵敏度、溶解度高且耐热性优异。
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公开(公告)号:CN112010788A
公开(公告)日:2020-12-01
申请号:CN201910470243.4
申请日:2019-05-31
申请人: 常州强力先端电子材料有限公司 , 常州强力电子新材料股份有限公司
IPC分类号: C07C309/65 , C07C309/00 , C07C303/00 , C07C303/28 , G03F7/004
摘要: 本发明提供一种对波长300-450nm的活性能量射线具有高产酸性且具有高溶解度、高灵敏度和耐热稳定性优异的非离子型肟酯类光产酸剂,具有如通式(A)所示结构。
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