- 专利标题: 药液的异常检测装置、液处理装置、基片处理装置、药液的异常检测方法、液处理方法和基片处理方法
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申请号: CN201980024973.X申请日: 2019-04-01
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公开(公告)号: CN112041968A公开(公告)日: 2020-12-04
- 发明人: 林圣人 , 森拓也 , 志手英男 , 坂本浩一
- 申请人: 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 龙淳; 徐飞跃
- 优先权: 2018-080209 2018.04.18 JP
- 国际申请: PCT/JP2019/014495 2019.04.01
- 国际公布: WO2019/202962 JA 2019.10.24
- 进入国家日期: 2020-10-10
- 主分类号: H01L21/027
- IPC分类号: H01L21/027 ; B05C9/14 ; B05C11/00 ; B05C11/08 ; B05C11/10 ; B05D1/40 ; B05D3/00 ; B05D3/06
摘要:
【技术问题】在对被处理体供给药液来进行处理时,防止在处理中产生异常,或者检测药液流路中的含有聚合物的药液相对于其他药液是否为希望的比例。【技术手段】本发明的装置包括:含有聚合物的药液所流动的药液流路;对所述药液流路照射激光的激光照射部;接收从所述药液流路供给来的光的受光元件;和检测部,其基于从所述受光元件输出的信号,检测所述药液所含的聚合物中的过半数存在的聚合物的状态异常,或者检测所述药液流路中的含有该聚合物的药液与其他药液的比例。
公开/授权文献
- CN112041968B 药液的异常检测装置、液处理装置、基片处理装置、药液的异常检测方法、液处理方法和基片处理方法 公开/授权日:2024-01-26