发明授权
CN1120529C 微机械热电堆红外探测器的制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 微机械热电堆红外探测器的制造方法
- 专利标题（英）： Technology for making infrared sensor of micromechanical thermoelectric pile
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申请号： CN00116388.4申请日： 2000-06-07
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公开(公告)号： CN1120529C公开(公告)日： 2003-09-03
- 发明人: 熊斌 , 徐峥谊 , 王跃林 , 王渭源 , 戈肖鸿
- 申请人： 中国科学院上海冶金研究所
- 申请人地址： 上海市长宁区长宁路865号
- 专利权人： 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海冶金研究所
- 当前专利权人地址： 上海市长宁区长宁路865号
- 代理机构： 上海智信专利代理有限公司
- 代理商 费开逵
- 主分类号： H01L35/00
- IPC分类号： H01L35/00
摘要：
一种微机械热电堆红外探测器的制造方法，最为关键的工艺是采用正面光刻技术，制造出周围用空气层减小热耗散的悬臂结构，且应用绝缘体上单晶硅材料，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏度。
公开/授权文献
- CN1281262A 微机械热电堆红外探测器的制造方法 公开/授权日：2001-01-24
IPC分类:
