本发明公开了一种用于固态继电器的光伏驱动器及其制备方法，用于固态继电器的光伏驱动器包括氮化镓基光电探测器阵列，包括有第一衬底；氮化镓基场效应管阵列，包括有第二衬底，所述氮化镓基场效应管阵列位于所述氮化镓基光电探测器阵列的右侧，所述第二衬底与所述第一衬底一体成型。根据本发明的用于固态继电器的光伏驱动器，氮化镓基光电探测器阵列和氮化镓基场效应管阵列为一体化设置，不但能够简化封装，有利于固态继电器的微型化，而且制作工艺简单，能够降低生产成本。