发明公开
- 专利标题: 一种新型的用于光刻涂胶的胶杯
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申请号: CN202010778514.5申请日: 2020-08-05
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公开(公告)号: CN112083629A公开(公告)日: 2020-12-15
- 发明人: 王冲 , 傅立超
- 申请人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
- 专利权人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- 当前专利权人: 宁波润华全芯微电子设备有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
- 代理机构: 宁波高新区永创智诚专利代理事务所
- 代理商 李鑫
- 主分类号: G03F7/16
- IPC分类号: G03F7/16
摘要:
本发明公开了一种新型的用于光刻涂胶的胶杯,涉及半导体技术领域,包括外罩、内罩、以及用于固定外罩、内罩的底座;外罩、内罩和底座中部共同形成一涂胶空间;外罩的外罩壁与内罩的内罩壁之间形成一隔层空间,底座内部开设有一液流通道,涂胶空间产生的胶液可通过隔层空间进入液流通道;液流通道为倾斜设置,液流通道的最低点A处开设有一用于胶液汇聚并排出的出液孔;本发明能够很方便的使胶杯内部的胶液通过位于最低点A处的出液孔排出,通过不同的倾斜角度、倾斜方式的设置,对胶液在液流通道内的流动起到进一步汇聚的作用,不会出现堆积的现象,使得胶杯无需清洗或极大减少清洗次数,从而提高整体的工作效率;解决胶杯不易清洗的问题。
IPC分类: