发明公开
- 专利标题: 一种提高超细金丝单根丝长度的方法及装置
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申请号: CN202010909054.5申请日: 2020-09-02
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公开(公告)号: CN112086365A公开(公告)日: 2020-12-15
- 发明人: 康菲菲 , 裴洪营 , 周文艳 , 吴永瑾 , 孔建稳 , 俞建树
- 申请人: 贵研铂业股份有限公司
- 申请人地址: 云南省昆明市五华区高新技术开发区科技路988号(昆明贵金属研究所)
- 专利权人: 贵研铂业股份有限公司
- 当前专利权人: 贵研半导体材料(云南)有限公司
- 当前专利权人地址: 650000 云南省昆明市昆明高新区马金铺贵金属产业园
- 代理机构: 昆明今威专利商标代理有限公司
- 代理商 赛晓刚
- 主分类号: H01L21/48
- IPC分类号: H01L21/48
摘要:
本发明公开了一种提高超细金丝单根丝长度的方法,在99.99%以上的高纯金中添加1~2种质量含量为5~50ppm的碱土金属和1~2种2~20ppm的稀土金属;制备Φ8~12mm的铸锭,通过粗拉、中拉、细拉制备成Ф0.050mm细丝;从Ф0.050mm到Φ0.008mm~Φ0.015mm,采用分段式不同变形量的配模工艺,按从粗到细,每段变形量依次递减;在主动放线装置和拉丝系统中间增加退火装置,实现超细金丝在线热拉拔。针对Ф0.050mm以下的金丝,设计变形量自上而下逐级递减的配模工艺,采用在线热拉拔技术,配合不同润滑方式,使用特殊尺寸钻石拉丝模以提高目标线径为0.008mm~0.015mm超细金丝的单根丝长度。该方法突破了超细金丝高精度制备断线频繁的技术难题,加快了超细金丝的产业化进程,推动了微组装技术的发展。
公开/授权文献
- CN112086365B 一种提高超细金丝单根丝长度的方法及装置 公开/授权日:2023-04-11
IPC分类: