SnO2基同质结自驱动紫外光光电探测器及其制备方法
Abstract:
本发明提供了一种SnO2基同质结自驱动紫外光光电探测器及其制备方法,该光电探测器,包括:衬底;n‑NbSnO2薄膜层,位于衬底表面;Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层,位于n‑NbSnO2薄膜层远离衬底一侧,Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层在n‑NbSnO2薄膜层表面的正投影不完全覆盖n‑NbSnO2薄膜层;第一金属电极层,位于Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层远离衬底一侧的表面;第二金属电极层,位于n‑NbSnO2薄膜层远离衬底一侧且未被Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层覆盖。本发明的光电探测器具有高的重复性、稳定性,极低的暗电流、极低的功耗以及极快的响应速度,可以在零偏压下自驱动工作。
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