Invention Grant
- Patent Title: SnO2基同质结自驱动紫外光光电探测器及其制备方法
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Application No.: CN202011103330.5Application Date: 2020-10-15
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Publication No.: CN112086532BPublication Date: 2021-10-22
- Inventor: 何云斌 , 黎明锴 , 刘伯涵 , 付旺 , 叶盼 , 肖兴林 , 魏浩然 , 尹魏玲 , 卢寅梅 , 常钢
- Applicant: 湖北大学 , 武汉睿联智创光电有限公司
- Applicant Address: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号;
- Assignee: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- Current Assignee: 湖北大学,武汉睿联智创光电有限公司
- Current Assignee Address: 湖北省武汉市武昌区友谊大道368号;
- Agency: 北京金智普华知识产权代理有限公司
- Agent 杨采良
- Main IPC: H01L31/0352
- IPC: H01L31/0352 ; H01L31/103 ; H01L31/032 ; H01L31/18
Abstract:
本发明提供了一种SnO2基同质结自驱动紫外光光电探测器及其制备方法,该光电探测器,包括:衬底;n‑NbSnO2薄膜层,位于衬底表面;Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层,位于n‑NbSnO2薄膜层远离衬底一侧,Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层在n‑NbSnO2薄膜层表面的正投影不完全覆盖n‑NbSnO2薄膜层;第一金属电极层,位于Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层远离衬底一侧的表面;第二金属电极层,位于n‑NbSnO2薄膜层远离衬底一侧且未被Mg掺杂p型导电MgSnO2薄膜层覆盖。本发明的光电探测器具有高的重复性、稳定性,极低的暗电流、极低的功耗以及极快的响应速度,可以在零偏压下自驱动工作。
Public/Granted literature
- CN112086532A SnO2基同质结自驱动紫外光光电探测器及其制备方法 Public/Granted day:2020-12-15
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IPC分类: