发明授权
- 专利标题: 一种高浓CF显影液及其制备方法
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申请号: CN202010875693.4申请日: 2020-08-27
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公开(公告)号: CN112099321B公开(公告)日: 2024-07-16
- 发明人: 何珂 , 戈士勇 , 汤晓春
- 申请人: 江苏中德电子材料科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省无锡市江阴市科达路33号
- 专利权人: 江苏中德电子材料科技有限公司
- 当前专利权人: 江苏中德电子材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省无锡市江阴市科达路33号
- 代理机构: 无锡义海知识产权代理事务所
- 代理商 林友琴
- 主分类号: G03F7/32
- IPC分类号: G03F7/32
摘要:
本发明涉及一种高浓CF显影液及其制备方法。该高浓CF显影液的组分及其重量百分数为:5‑15%的无机强碱、3‑20%的表面活性剂、1‑2%的促溶剂、0.01‑2%的羧酸酯水解酶EC3.1.1.1,余量为高纯水。本发明通过在高浓CF显影液中添加了羧酸酯水解酶EC3.1.1.1,克服了现有高浓度CF显影液因表面活性剂添加量大容易导致混浊、产生泡沫、显影速度随显影时间减弱、显影存在残渣、显影不完全、存在膜污等问题,配方浓缩,运输成本稍,且具有良好的显影效果。
公开/授权文献
- CN112099321A 一种高浓CF显影液及其制备方法 公开/授权日:2020-12-18
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