发明授权
- 专利标题: 被加工物的加工方法
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申请号: CN202010577921.X申请日: 2020-06-23
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公开(公告)号: CN112123063B公开(公告)日: 2024-07-12
- 发明人: 松原壮一 , 久保徹雄
- 申请人: 株式会社迪思科
- 申请人地址: 日本东京都
- 专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人地址: 日本东京都
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 乔婉; 于靖帅
- 主分类号: B24B7/22
- IPC分类号: B24B7/22 ; B24B27/00 ; B24B41/06 ; B24B47/22 ; B24B51/00 ; B24B49/02 ; B24B41/00 ; H01L21/304
摘要:
提供被加工物的加工方法,即使控制单元功能停止,也不会过度磨削被加工物而导致磨削装置产生损伤。利用磨削装置对被加工物进行磨削,该磨削装置具有:卡盘工作台;主轴,其使磨削磨轮旋转;伺服电动机,其使主轴移动;伺服驱动器,其向伺服电动机发送信号;控制单元,其对伺服驱动器进行控制;和控制单元,其测量被加工物的厚度,磨削方法具有如下的步骤:磨削量指示步骤,从被加工物的厚度减去目标厚度来计算预定磨削量,并向伺服驱动器指示预定磨削量;和磨削步骤,通过伺服电动机使主轴移动,对被加工物进行磨削,在磨削步骤中,伺服驱动器在主轴移动了与预定磨削量对应的目标距离时结束卡盘工作台与主轴的相对移动。
公开/授权文献
- CN112123063A 被加工物的加工方法 公开/授权日:2020-12-25