- 专利标题: 包含溶剂混合物的组合物用于处理图案化材料时避免图案坍塌的用途
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申请号: CN201980033550.4申请日: 2019-05-13
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公开(公告)号: CN112135899B公开(公告)日: 2022-10-25
- 发明人: M·布里尔 , D·勒夫勒 , Y·伯克 , F·皮龙 , L·恩格布莱希特 , S·奇霍尼 , M·伯格勒 , V·博伊科 , P·维尔克
- 申请人: 巴斯夫欧洲公司
- 申请人地址: 德国莱茵河畔路德维希港
- 专利权人: 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人: 巴斯夫欧洲公司
- 当前专利权人地址: 德国莱茵河畔路德维希港
- 代理机构: 北京市中咨律师事务所
- 代理商 肖威; 刘金辉
- 优先权: 18174211.5 20180525 EP
- 国际申请: PCT/EP2019/062178 2019.05.13
- 国际公布: WO2019/224032 EN 2019.11.28
- 进入国家日期: 2020-11-18
- 主分类号: G03F7/40
- IPC分类号: G03F7/40 ; C11D7/50 ; C11D11/00 ; G03F7/00
摘要:
本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途,其中R1选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;R2选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基,其可未被取代或被OH或F取代;n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物,并且以低于该共沸混合物的20重量%至低于该共沸混合物的20重量%的量存在。
IPC分类: