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公开(公告)号:CN111279271B
公开(公告)日:2023-09-29
申请号:CN201880070358.8
申请日:2018-10-29
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: G03F7/40 , C11D1/66 , C11D11/00 , H01L21/02 , H01L21/027
摘要: 本发明涉及包含有机溶剂和至少一种特定硅氧烷型添加剂的非水性组合物用于处理包含具有50nm或更小的线性空间尺寸及4或大于4的纵横比的图案的基板的用途,以及一种用于制造集成电路器件、光学器件、微机械和机械精密器件的方法,所述方法包括以下步骤:(1)提供具有图案化材料层的基板,所述层具有50nm的线性空间尺寸、大于或等于4的纵横比或其组合,(2)使基板与非水性组合物接触至少一次,和(3)自与基板的接触中移除非水性组合物,其中所述非水性组合物包含有机溶剂及所述硅氧烷型添加剂中的至少一种。
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公开(公告)号:CN112135899A
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN201980033550.4
申请日:2019-05-13
申请人: 巴斯夫欧洲公司
摘要: 本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途,其中R1选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;R2选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基,其可未被取代或被OH或F取代;n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物,并且以低于该共沸混合物的20重量%至低于该共沸混合物的20重量%的量存在。
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公开(公告)号:CN111836849A
公开(公告)日:2020-10-27
申请号:CN201980018209.1
申请日:2019-03-01
申请人: 巴斯夫欧洲公司
摘要: 本发明涉及一种制备聚吲哚聚合物(P)的纤维、膜和模制品的方法,所述方法通过使包含以下组分的反应混合物中(RAG)r转1选化自进未行取:代(a)的至或少至一少种单通取式代(的I)的亚芳苯族基二、萘羧二酸基化、合蒽物二,基其、联苯二基、二苯甲烷二基、二苯醚二基、二苯硫醚二基、二苯砜二基、二苯甲酮二基、吡啶二基、嘧啶二基、呋喃二基和噻吩二基为和的‑,‑重取HB复或r代,单其‑基C元中选1‑,RC其自21为0中‑‑F‑烷mH、为‑基、C‑1;Cl至、X1‑‑15CB、0X1的r0、2‑自‑各烷O自然基R数1独、和‑,立C‑并1C地‑且C1‑选1RC0‑自31烯为0‑‑基‑烷OHR或基、2‑通、,C‑其式F1‑中、(C‑I1RCa0)‑1l烷或基(II或d)‑的C1芳‑C族10二‑烯氨基基;化(b合)至物少,其一中种n通为式0或(I1Ia,)Y、1(、IYI2b、)Y、(3、IYIc4)各和自/独立地为‑H、‑OR4或‑SR4,其中R4选自‑H、‑C1‑C10‑烷基、三甲基甲硅烷基、叔丁基二甲基甲硅烷基、乙酰基和叔丁氧羰基,其中基团Y1和Y2中的至多一个为‑H,其中基团Y3和Y4中的至多一个为‑H;并且Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6、Z7、Z8各自独立地为‑NHH3C2‑或SO‑N3–H、p3‑+HQ–3C,其‑C中6HQ4‑–为SO选3–和自NFO–、3C–的l–、离B子r–等、I价–、H物S;O和4–(、cS)O至42少–、一种离子液体(IL);其特征在于,反应混合物(RG)的所述转化在0至120℃的温度TR下进行,以获得产物混合物(PVG)。根据本发明,然后将所述产物混合物(PVG)在0至100℃的温度TV下加工以形成膜、纤维或模制品,并将如此获得的膜、纤维或模制品加热到250至500℃的温度TP。
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公开(公告)号:CN111279271A
公开(公告)日:2020-06-12
申请号:CN201880070358.8
申请日:2018-10-29
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: G03F7/40 , C11D1/66 , C11D11/00 , H01L21/02 , H01L21/027
摘要: 本发明涉及包含有机溶剂和至少一种特定硅氧烷型添加剂的非水性组合物用于处理包含具有50nm或更小的线性空间尺寸及4或大于4的纵横比的图案的基板的用途,以及一种用于制造集成电路器件、光学器件、微机械和机械精密器件的方法,所述方法包括以下步骤:(1)提供具有图案化材料层的基板,所述层具有50nm的线性空间尺寸、大于或等于4的纵横比或其组合,(2)使基板与非水性组合物接触至少一次,和(3)自与基板的接触中移除非水性组合物,其中所述非水性组合物包含有机溶剂及所述硅氧烷型添加剂中的至少一种。
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公开(公告)号:CN112135899B
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN201980033550.4
申请日:2019-05-13
申请人: 巴斯夫欧洲公司
摘要: 本发明涉及包含C1‑C6链烷醇和式I羧酸酯的组合物的用途,其中R1选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;R2选自C1‑C6烷基,其可未被取代或被OH或F取代,和‑X21‑[O‑X22]n‑H;X21、X22独立地选自C1‑C6链烷二基,其可未被取代或被OH或F取代;n为1‑5的整数。其中选择所述C1‑C6链烷醇和羧酸酯以形成共沸混合物,并且以低于该共沸混合物的20重量%至低于该共沸混合物的20重量%的量存在。
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公开(公告)号:CN109790292A
公开(公告)日:2019-05-21
申请号:CN201780056203.4
申请日:2017-09-05
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: C08G75/22 , C07D263/57 , C09K11/00 , C08G61/00 , C08G63/00 , C08G73/00 , D01D4/00 , D01F6/74 , H01B1/00 , H01L51/00
摘要: 本发明涉及通过使反应混合物(RG)反应来制备聚吲哚聚合物(P)的方法,反应混合物(RG)包含至少一种通式(I)的芳族二羧酸化合物、至少一种通式(IIa)、(IIb)、(IIc)和/或(IId)的芳族二氨基化合物以及至少一种离子液体(IL)。本发明还涉及聚吲哚聚合物(P),其可通过本发明的方法获得,并且还涉及聚吲哚聚合物(P)的用途,例如作为纤维材料。
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公开(公告)号:CN111836849B
公开(公告)日:2023-04-07
申请号:CN201980018209.1
申请日:2019-03-01
申请人: 巴斯夫欧洲公司
摘要: 本发明涉及一种制备聚吲哚聚合物(P)的纤维、膜和模制品的方法,所述方法通过使包含以下组分的反应混合物(RG)转化进行:(a)至少一种通式(I)的芳族二羧酸化合物,其中Ar1选自未取代的或至少单取代的亚苯基、萘二基、蒽二基、联苯二基、二苯甲烷二基、二苯醚二基、二苯硫醚二基、二苯砜二基、二苯甲酮二基、吡啶二基、嘧啶二基、呋喃二基和噻吩二基,取代基选自‑F、‑Cl、‑Br、‑OR1和‑C1‑C10‑烷基,其中R1为‑H或‑C1‑C10‑烷基;X1、X2各自独立地选自‑OR2、‑F、‑Cl和‑Br,其中R2为‑H、‑C1‑C10‑烷基、‑C1‑C10‑烯基或通式(Ia)的重复单元,其中m为1至50的自然数,并且R3为‑H、‑C1‑C10‑烷基或‑C1‑C10‑烯基;(b)至少一种通式(IIa)、(IIb)、(IIc)和/或(IId)的芳族二氨基化合物,其中n为0或1,Y1、Y2、Y3、Y4各自独立地为‑H、‑OR4或‑SR4,其中R4选自‑H、‑C1‑C10‑烷基、三甲基甲硅烷基、叔丁基二甲基甲硅烷基、乙酰基和叔丁氧羰基,其中基团Y1和Y2中的至多一个为‑H,其中基团Y3和Y4中的至多一个为‑H;并且Z1、Z2、Z3、Z4、Z5、Z6、Z7、Z8各自独立地为‑NH2或‑NH3+Q–,其中Q–为选自F–、Cl–、Br–、I–、HSO4–、SO42–、H3C‑SO3–、p‑H3C‑C6H4‑SO3–和NO3–的离子等价物;和(c)至少一种离子液体(IL);其特征在于,反应混合物(RG)的所述转化在0至120℃的温度TR下进行,以获得产物混合物(PVG)。根据本发明,然后将所述产物混合物(PVG)在0至100℃的温度TV下加工以形成膜、纤维或模制品,并将如此获得的膜、纤维或模制品加热到250至500℃的温度TP。
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公开(公告)号:CN109790292B
公开(公告)日:2022-05-31
申请号:CN201780056203.4
申请日:2017-09-05
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: C08G75/22 , C07D263/57 , C09K11/00 , C08G61/00 , C08G63/00 , C08G73/00 , D01D4/00 , D01F6/74 , H01B1/00 , H01L51/00
摘要: 本发明涉及通过使反应混合物(RG)反应来制备聚吲哚聚合物(P)的方法,反应混合物(RG)包含至少一种通式(I)的芳族二羧酸化合物、至少一种通式(IIa)、(IIb)、(IIc)和/或(IId)的芳族二氨基化合物以及至少一种离子液体(IL)。本发明还涉及聚吲哚聚合物(P),其可通过本发明的方法获得,并且还涉及聚吲哚聚合物(P)的用途,例如作为纤维材料。
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公开(公告)号:CN114072482A
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202080049504.6
申请日:2020-06-19
申请人: 巴斯夫欧洲公司
IPC分类号: C09K13/00 , C09K13/08 , H01L21/306
摘要: 本发明涉及一种在含硅层,特别是包含a‑Si、SiOx、SiON、SiN或其组合的层存在下选择性蚀刻包含硅锗合金(SiGe)的层的组合物,该组合物包含:(a)氧化剂,(b)选自无机酸和有机酸的酸,(c)包含氟离子源的蚀刻剂,(d)聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)和(e)水。
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公开(公告)号:CN113711130A
公开(公告)日:2021-11-26
申请号:CN202080027760.5
申请日:2020-03-27
申请人: 巴斯夫欧洲公司
摘要: 一种非水性组合物,其包含:(a)有机质子溶剂,(b)氨,和(c)至少一种式I或II的添加剂,其中:R1为H;R2选自H、C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基;R3选自R2;R4选自C1‑C10烷基、C1‑C10烷氧基、C6‑C10芳基和C6‑C10芳氧基;R10、R12独立地选自C1‑C10烷基和C1‑C10烷氧基;m为1、2或3;n为0或1‑100的整数。
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