本发明提供了一种用于构造5G基站射频滤波器的单晶压电谐振器及制备方法，包括：谐振器衬底1、保护层2、谐振器平板底电极3、单晶压电材料4、通孔金属5、第一凸起结构6、谐振器交叉上电极7以及第二凸起结构8；所述谐振器衬底1能够支撑用于构造5G基站射频滤波器的单晶压电谐振器；所述谐振器衬底1的电阻大于设定阈值；所述谐振器衬底1的晶格常数与单晶压电材料4相匹配；所述保护层2覆盖在谐振器平板底电极3和谐振器交叉上电极7之上；本发明通过采用介质材料背后刻蚀空气腔工艺，从而保证了单晶压电材料的绝对平整。此空气反射腔具有完美反射声波、加工方便、可靠性高等优点。