基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置
摘要:
公开了一种基于双悬臂梁增强型光声光谱的气体分解组分检测装置,包括红外激光光源(1)、光学斩波器(2)、光声池(4)、硅微悬臂梁(6,13)、激光干涉仪(11,17)、上位机(22)。红外激光光源发出红外光,经光学斩波器调制成周期性红外光。光声池内的待测气体与周期性红外光作用后产生的光声效应,借助两个硅微悬臂梁对待测气体光声效应产生的声信号进行测量,将其转换为与声波强度成正比的电信号输出,将电信号转换为数字信号传入计算机,即可得到待测气体产生的光声信号。双悬臂梁传声器同时检测,检测对称位置的光声效应,能有效减少噪声对检测结果的影响。
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