一种选择性发射极制备方法、太阳能电池及其制备方法
摘要:
本申请公开了选择性发射极制备方法,包括获得N型硅片,并在N型硅片的正面沉积掩膜层;在掩膜层与金属栅线对应的位置形成窗口;对具有窗口的N型硅片进行扩散处理,以在具有窗口的N型硅片对应窗口的位置形成重掺杂区;去除掩膜层;对去除掩膜层后的N型硅片进行扩散处理,以在去除掩膜层后的N型硅片的正面形成轻掺杂区,得到选择性发射极。本申请通过形成掩膜层和两次扩散处理在N型硅片表面形成选择性发射极,重掺杂区方阻低,金属‑半导体接触电阻小,轻掺杂区的方阻高,复合速率小,短波响应好,使得太阳能电池的效率提升,且整个制备过程不引入任何杂质,也不需要额外增加其他设备,便于生产。本申请还提供一种太阳能电池及其制备方法。
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